Untitled Document
   
 
   
 
 
 
 
 
 
    미국 Illinois 주에 SpeedFam Corporation 회사 설립
    미국 SpeedFam Inc.이 일본 OBARA Corp.과 합작으로
      일본에 SpeedFam Co., Ltd. 를 설립
    한국에 연락 사무소 설립
    PTI 한국지점 설립 (SpeedFam Co., Ltd. 100% 지분 출자)
    PTI 한국지점 청산 및 한국스피드팸㈜ (SpeedFam Korea Limited) 설립
    SpeedFam사와 IPEC사와의 합병
      한국스피드팸아이펙㈜ (SpeedFam-IPEC Korea Limited) 로 상호 변경
    미국 SpeedFam-IPEC Inc.와 일본 OBARA Corp.의 합작계약기간 만료후
      스피드팸㈜한국지점(SpeedFam Co., Ltd. Korea Branch) 설립