¢Æ¢Æ SPEEDFAM CO., LTD. ¢Æ¢Æ
   
 
   
 
 
 
 
 
 
 
 
   
 
 
  LAPPING
Lapping Oil ¾ç¸é
Lapping
Á¤¹Ý
Speed
Alloy
Lapping
Á¤¹Ý
¿¬¸¶Àç PVA
Stones
(Grinding
stones)
#210
Oil Base
LO-100 Water Base ÀÏ¹Ý Glass GC C WA A FO
¹ÝµµÃ¼
wafer
 Si    
         
 GaAs/GaP              
 LiTaO©ý/LiNbO©ý              
 InP            
 »çÆÄÀ̾î
 (ºí·ç LED)
             
¸Þ¸ð¸®
µð½ºÅ©
 ¾Ë·ù¹Ì´½                    
 Ni-P                      
 Glass                
À¯¸® / ·»Áî  L.C.D                    
 Æ÷Å丶½ºÅ©            
 Copy Mirror              
 ÀϹݷ»Áî              
 ±¤ÇÐ À¯¸®              
Çöó½ºÆ½
·»Áî
 ¾È°æ·»Áî                
 ÄÜÅØÆ®·»Áî                
¼¼¶ó¹Í  ¼¼¶ó¹Í ¿øÀÚÀç            
 ¼¼¶ó¹Í Seal/Part            
 ¾ÐÀü¼ÒÀÚ(PZT)        
 Æä¶óÀÌÆ®            
ÀÏ¹Ý±Ý¼Ó  Á¤¹Ð ºÎÇ°      
 ¿ÀÀÏ ¹ëºê ºÎÇ°      
 ¾Ë·ù¹Ì´½ ºÎÇ°        
 ¿¬°­(æã˼) ºÎÇ°  
 Stamper Template                
 °­Ã¶ºÎÇ°          
±×¿Ü  ¼öÁ¤Áøµ¿ÀÚ            
 ÇÕ¼º¼öÁö              
 
 
 
  Polishing
Polishing Slurry
Polishing Pad Cerium
Oxide
COMPOL Edge
Mirror
INSEC POLIPLA SUBA Politex DRUM DRP Cerium
Pad
¹ÝµµÃ¼
wafer
 Si        
 GaAs/GaP                
 LiTaO©ý/LiNbO©ý              
 InP                
 »çÆÄÀ̾î
 (ºí·ç LED)
               
¸Þ¸ð¸®
µð½ºÅ©
 ¾Ë·ù¹Ì´½                  
 Ni-P                
 Glass              
À¯¸® / ·»Áî  L.C.D              
 Æ÷Å丶½ºÅ©              
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Çöó½ºÆ½
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¼¼¶ó¹Í  ¼¼¶ó¹Í ¿øÀÚÀç                  
 ¼¼¶ó¹Í Seal/Part                  
 ¾ÐÀü¼ÒÀÚ(PZT)                  
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ÀÏ¹Ý±Ý¼Ó  Á¤¹Ð ºÎÇ°                  
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  Hard Polishing Carrier AMC Wax
Diamond Powder µ¿/ÁÖ¼® Á¤¹Ý
¹ÝµµÃ¼
wafer
 Si      
 GaAs/GaP      
 LiTaO©ý/LiNbO©ý      
 InP      
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 (ºí·ç LED)
 
¸Þ¸ð¸®
µð½ºÅ©
 ¾Ë·ù¹Ì´½      
 Ni-P      
 Glass      
À¯¸® / ·»Áî  L.C.D      
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 ÀϹݷ»Áî      
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Çöó½ºÆ½
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