SUBA PAD는 Lapping이후 표면의 Haze현상(가공표면에 미세한 Scratch로 인하여 안개처럼 뿌옇게 보이는 현상)을 제거하는데 매우 뛰어난 제품입니다. 또한 적용범위가 Polishing의 첫 단계에 주로 사용됨으로 Lapping이후 Polishing에서 흐트러질 수 있는 제품의 평탄도를 고르게 하는데 탁월한 효과를 보입니다. Speedfam에서는 고객의 다양한 크기 제작요구에 공급이 가능하며, PAD에 양면 Tape을 부착하여 제품의 탈,부착이 손쉬우며, 부착 후 PAD의 평탄도를 유지하는데 탁월합니다.     Politex PAD는 Microlayer 부분에 의하여 패드의 수명이 길며, 쿠션능력이 뛰어나 가공물의 Edge부분의 손상을 최소화하데 탁월한 역할을 합니다. 폴리우레탄 표면은 수백만개가 이어지는 기공구조로 구성되어 있습니다. 이 기공구조는 연마재가 그 안에서 연마량 및 표면 상태를 매우 탁월하게 만들어 내고 있습니다. 주로 고정밀 광택을 요구 하는 가공공정에서 Final공정에 쓰여지며, PAD에 양면 Tape을 부착하여 제품의 탈,부착이 손쉬우며, 부착 후 PAD의 평탄도를 유지하는데 탁월합니다.       Speedfam의 Cerium 패드는 특수한 경질 폴리우레탄 수지에 산화Cerium을 함유한 Polishing 패드입니다. 이 Cerium 패드는 매우 긴 수명과, 빠른 연마력을 특징으로 가지고 있습니다. 고객의 요구에 따라 Groove 및 hole의 방향조절이 가능 하며, PAD에 양면 Tape을 부착하여 제품의 탈,부착이 손쉬우며, 부착 후 PAD의 평탄도를 유지하는데 탁월합니다. 주로 LCD,유리,광학 제품등에 사용되며, 대부분 산화 Cerium연마재와 함께 사용됩니다