|
|
|
|
|
|
|
|
GC´Â ´ÙÀ̾Ƹóµå ´ÙÀ½À¸·Î °æµµ°¡ °ÇÑ Á¦Ç°À¸·Î¼
Æļ⿡ ÀÇÇÑ ³ôÀº Àý»è·ÂÀ» Ư¡À¸·Î ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌ°°ÀÌ ³ôÀº Àý»è·ÂÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© °¢Á¾ ¿þÀÌÆÛ IngotÀÇ
wire Àý´Ü ¹× °æµµ°¡ °ÇÑ Á¦Ç° ¶Ç´Â ªÀº ½Ã°£ ³»¿¡
¸¹Àº Àý»è·®À» ¿ä±¸ÇÏ´Â ºÎºÐ¿¡ ³Î¸® ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
°¡°ø¹°ÀÇ Á¶µµ¿¡ µû¶ó 240Mesh(80§) ~8000Mesh(1§) ±îÁö
´Ù¾çÇÑ size°¡ Àû¿ëµË´Ï´Ù.
Àû¿ë¹üÀ§ : »çÆÄÀÌ¾î ¿þÀÌÆÛ(Blue Led),
LiTaO©ý/LiNbO©ý
¿þÀÌÆÛ, ÃÊ°ÇÕ±ÝÁ¦Ç°,
°¢Á¾
¹ëºê ¾Á, °¢Á¾ ¼¼¶ó¹Í Á¦Ç°, ¼öÁ¤ Áøµ¿ÀÚ µî |
|
|
|
|
|
|
|
C´Â Èæ»ö ÅºÈ±Ô¼Ò ¿¬¸¶Àç ÀÔ´Ï´Ù.
GC¿Í ºñ±³Çؼ ¼øµµ¿Í °æµµ´Â ¾à°£ ¶³¾îÁöÁö¸¸ ÀμºÀÌ
GCº¸´Ù´Â ¶Ù¾î³ °ÍÀÌ Æ¯Â¡ ÀÔ´Ï´Ù.
µû¶ó¼ ¾ÈÁ¤µÈ Àý»è°ú ¿¬¸¶¿¡ ÀûÇÕÇϸç, Á¤¹Ð Lapping µî¿¡
ÁÖ·Î ÀÌ¿ëµÇ¾î ¶Ù¾î³ Ç¥¸é °¡°øÀÌ °¡´ÉÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
C´Â ¿¬¸¶ ÆäÀÌÆÛ ¹× ¿¬¸¶¿ë Áö¼®(PVA STONE)ÀÇ ÁÖ¿ø·á·Î
»ç¿ëµÇ±âµµ ÇÕ´Ï´Ù.
°¡°ø¹°ÀÇ Á¶µµ¿¡ µû¶ó 240Mesh(80§) ~8000Mesh(1§) ±îÁö
´Ù¾çÇÑ size°¡ Àû¿ëµË´Ï´Ù.
Àû¿ë¹üÀ§ : ÁÖö,Ȳµ¿,µ¿,¾Ë·ç¹Ì´½,¼®Àç,
Photomask¿ë
Glassµî ºñ±³Àû °æµµ°¡ ³·Àº Á¦Ç°µî. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
WA´Â ¹é»ö Alumina ÀçÁúÀÇ ¿¬¸¶Àç·Î Al©üO©ý¼øµµ
98%ÀÌ»óÀÇ
°í¼øµµ AluminaÀÔ´Ï´Ù.
ÅºÈ±Ô¼Ò ´ÙÀ½ÀÇ °æµµ¸¦ °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç Á¼°í ³ôÀº ÀÔÀÚÀÇ
ºÐÆ÷¿Í ¾ÈÁ¤µÈ ÀÔÀÚ¸¦ °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
µû¶ó¼ °íÁ¤¹ÐºÎºÐÀÇ Lapping °¡°ø¿¡ ¿ëÀÌ ÇÕ´Ï´Ù.
°¡°ø¹°ÀÇ Á¶µµ¿¡ µû¶ó 240Mesh(80§) ~8000Mesh(1§) ±îÁö
´Ù¾çÇÑ size°¡ Àû¿ëµË´Ï´Ù.
Àû¿ë¹üÀ§ : ÃÊÁ¤¹Ð °¡°ø¿ë Áö¼®, ÃÊÁ¤¹Ð
°¡°ø¿ë Tape,
¼öÁ¤
Áøµ¿ÀÚ, À¯¸®µî. |
|
|
|
|
|
|
|
Al©üO©ý¼øµµ 90%ÀÌ»óÀÇ ¡°Corundum¡±°áÁ¤À¸·Î
±¸¼ºµÇ¾î
ÀÖ½À´Ï´Ù.
ƯÈ÷ ÀμºÀ» Çâ»ó½ÃÅ°±â À§ÇÏ¿© ƼŸ´½À» ¼Ò·® ÷°¡ÇÑ °ÍÀÌ
Ư¡ÀÔ´Ï´Ù.
µû¶ó¼ ¿¬¸¶ÀçÁß °¡Àå ÀμºÀÌ ³ôÀº °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÔ´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ ÀÏÁ¤ÇÑ ÀÔÀÚÀÇ ºÐÆ÷·Î ³ôÀº ¿¬¸¶¼º°ú °¡°ø¹°ÀÇ Scratch¸¦
ÁÙ¿© °íÇ°ÁúÀÇ ¿¬¸¶Ç¥¸éÀ» ¸¸µé¾î ³»°í ¾ÈÁ¤µÈ ¿¬¸¶·ÂÀ»
À¯ÁöÇÕ´Ï´Ù.
°¡°ø¹°ÀÇ Á¶µµ¿¡ µû¶ó 240Mesh(80§) ~8000Mesh(1§) ±îÁö
´Ù¾çÇÑ size°¡ Àû¿ëµË´Ï´Ù.
Àû¿ë¹üÀ§ : ÃÊÁ¤¹Ð °¡°øÁö¼®,ÃÊÁ¤¹Ð °¡°ø¿¬¸¶
Tape,
ºê¶ó¿î°ü
¹× °¢Á¾ À¯¸®Á¦Ç°, °æÁú±Ý¼Ó µîÀÇ
Á¤¹Ð
Lapping°¡°ø
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
FO´Â Al©üO©ý ÀçÁúÀÇ Á¤¹Ð Lapping ¿¬¸¶ÀçÀÔ´Ï´Ù.
FO´Â ¸Þ¸ð¸®Ä¨À» ¸¸µé¾î³»´Â Si ¹ÝµµÃ¼¿¡ ¿ø·áÀÎ Si-wafer ¹×
°¢Á¾ ÀüÀÚºÎÇ°¿¡ ÀÌ¿ëµÇ´Â ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼
(GaAs,In-P, LiTaO©ý/LiNbO©ýµî)ÀÇ °¡°ø¿¡ ÁÖ·Î ÀÌ¿ëµÇ¸ç,
À§ÀÇ °¡°ø¹°ÀÌ ¾ò¾î¾ß ÇÏ´Â °íÁ¤¹Ð Æòźµµ ¹× ³ôÀº Ç°ÁúÀÇ
Ç¥¸é»óŸ¦ °¡°ø À¯Áö Çϱâ À§ÇÏ¿© Ư¼ö Á¦ÀÛµÈ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
µû¶ó¼ ¾ö°ÝÇÑ Ç°Áú°ü¸®¿¡ ÀÇÇÏ¿© Á¦Á¶ µÇ°í ÀÖÀ¸¸ç,
¾ðÁ¦³ª ¾ÈÁ¤µÈ Lapping°ú Scratch ¹ß»ýÀ» ¾ïÁ¦ ½Ãŵ´Ï´Ù.
Àû¿ë¹üÀ§ : Silicon¿þÀÌÆÛ
ÈÇÕ¹°
¹ÝµµÃ¼ (GaAs,In-P, LiTaO©ý/LiNbO©ýµî)
°¢Á¾
·»Áî À¯¸® ¹× ±¤ÇÐÁ¦Ç° µî |
|
|
|
|
|
|
|
|
SpeedfamÀÇ Cerium ¿¬¸¶Àç´Â ¾ö°ÝÇÑ
Ç°Áú°ü¸®¸¦ ÅëÇÏ¿© ÇÑ lot¿¡¼ 3tonÀÌ»óÀ»
Á¦ÀÛÇÏ¿©, ¾ÈÁ¤µÈ Ç°ÁúÀÇ Á¦Ç°À» °ø±ÞÇÏ°í
ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÔÀÚÀÇ ºÐÆ÷¼ºÀÌ ¸Å¿ì ¾ÈÁ¤Àû ÀÓÀ¸·Î
¿¬¸¶ ½Ã ÈìÀ̳ª ¿¬¼ÒÀÇ Æ®·¯ºíÀÌ
°ÅÀÇ ¹ß»ý ÇÏÁö ¾Ê´Â Ư¡À» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
SpeedfamÀÇ Cerium PAD¿Í °°ÀÌ »ç¿ëÇϽøé
´õ¿í´õ ¶Ù¾î³ È¿°ú¸¦ ¾òÀ¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Àû¿ë¹üÀ§ : °¢Á¾ ±¤Çз»Áî, À¯¸®,
LCD, Æ÷Å丶½ºÅ© µî |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|