¢Æ¢Æ SPEEDFAM CO., LTD. ¢Æ¢Æ
   
 
   
 
 
 
 
 
 
 
 
   
 
 
 
¾ç¸é±âÀÇ Á¤¹ÝÀº ³ôÀº ¿¬¸¶·Â¿¡ ¼Ò¸ð¼ºÀÌ ³·¾Æ »ý»ê¿ø°¡ÀÇ Àý°¨ÀÌ ¿¹»óµÇ´Â Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
»óÇÏÁ¤¹ÝÀÇ ºü¸¥ ȸÀü¿¡ ´ëÇÏ¿©¼­µµ ƯÀ¯ÀÇ À¯¿¬¼º°ú Á¤¹Ý Ç¥¸éÀÇ ÀûÀº º¯È­·Î ÀÎÇÏ¿©
ÀϹÝÁ¤¹Ý¿¡ ºñÇÏ¿© ¾à 2¹èÀÇ life timeÀÌ ¿¹»óµË´Ï´Ù.
¼öÁ¤ Carrier´Â Á¤¹ÝÀÇ Æòźµµ¸¦ °ü¸®ÇÏ´Â Á¦Ç°À¸·Î ºü¸¥ ¼öÁ¤ ÀÛ¾÷ÀÌ Æ¯Â¡ÀÔ´Ï´Ù.

Diamond Pellet ÀåÂøÇÑ ¼öÁ¤ Carrier´Â PVA StoneÀÇ Æòźµµ¸¦ °ü¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
 
Glass ¾ç¸é Lapping Á¤¹ÝÀº GaAs, In-PµîÀÇ
È­ÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼¿ëÀ¸·Î Ư¼ö Á¦ÀÛµÈ Á¤¹Ý ÀÔ´Ï´Ù.

È­ÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼ °¡°ø ½Ã ÀÏ¹Ý °¡°ø¹°º¸´Ù
¸Å¿ì ÀÛÀº ÀÔÀÚÀÇ ¿¬¸¶À縦 »ç¿ëÇÔÀ¸·Î½á
ÀÌ¿¡ ÀûÇÕÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.

ÀÌ·¯ÇÑ Á¦Ç°ÀÇ Æ¯Â¡Àº °¡°ø¹°ÀÇ Ç¥¸é¿¡
Scratches ¹× ChippingÀ» °¨¼Ò ½Ãŵ´Ï´Ù.
 
 
SpeedfamÀÇ ´Ü¸é±â Á¤¹ÝÀº Speed Alloy¶ó°íµµ ºÒ¸®¿ì¸ç 18°³ÀÇ Á¶°¢Çü½ÄÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç
ÀçÁúÀº Ư¼öÇÕ±ÝÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁ³½À´Ï´Ù.

Á¤¹ÝÀÇ °­µµ°¡ ¸Å¿ì ³ô¾Æ ¿¬¸¶Àç°¡ Á¤¹ÝÇ¥¸é¿¡ ¹ÚÈ÷´Â °ÍÀ» ¿¹¹æÇϸç, ¿ÀÈ÷·Á ¿¬¸¶ÀçÀÇ ÀÔÀÚ°¡
Á¤¹ÝÇ¥¸é¿¡ ÀÚÀ¯·Ó°Ô ºÐÆ÷µÇµµ·Ï ÇÏ¿© ¿¬¸¶·ÂÀ» ³ô¿©ÁÖ´Â È¿°ú°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.

Á¤¹ÝÀÇ ³ôÀº À¯¿¬¼º°ú ÀûÀº ¼Ò¸ð·®À¸·Î ¼ö¸íÀÌ ±æ°í, ÀÏÁ¤ÇÑ Æòźµµ¸¦ À¯Áö ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç,
Á¤¹ÝÀÇ Æòźµµ ¼öÁ¤ÀÌ ºü¸¥ °ÍÀÌ Æ¯Â¡ ÀÔ´Ï´Ù.

Retainer ring ¿ª½Ã Ư¼öÇÕ±ÝÀ¸·Î ¸¸µé¾î Á³À¸¸ç, °¡°ø¹°À» ÁöÁöÇÏ´Â Áö±× ¹× Á¤¹Ý ¼öÁ¤¿ëÀ»
¸ñÀûÀ¸·Î »ç¿ëµË´Ï´Ù.

Groove type°ú Non Groove typeÀÇ µÎ Á¾·ù°¡ ÀÖÀ¸¸ç ¼öÁ¤¿ë ¶Ç´Â °¡°ø¿ëÀÇ ¸ñÀû¿¡ µû¶ó
Àû¿ë TypeÀÌ ¹Ù²î°Ô µË´Ï´Ù.
 
 

SpeedfamÀÇ PVA StoneÀº Ư¼öÇÑ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¿¬¸¶À縦 BondingÇÑ ½ÅÃ༺ÀÌ
¸Å¿ì ÁÁÀº Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
µû¶ó¼­ °¡°ø¹° Ç¥¸é¿¡ Scratch¸¦ ¾ïÁ¦ÇÒ »Ó ¾Æ´Ï¶ó Ç¥¸éÀÇ Á¶µµ¸¦ Çâ»ó½ÃÅ°´Âµ¥
Ź¿ùÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ PVA Stone ³»ºÎ ±¸Á¶¿¡´Â ¹Ì¼¼ÇÑ °ø±â ±¸¸ÛÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾î °¡°ø ½Ã ¹ß»ýÇÏ´Â
¿­À» ºÐ»ê½ÃÄÑ °¡°ø¹°À» ¿­·ÎºÎÅÍ º¸È£ÇÏ´Â ±â´ÉÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯Â¡Àº ÀÏ¹Ý ¿¬¸¶Àç »ç¿ë½Ã Ç¥¸éÀÌ Å¸¹ö¸®´Â Çö»óÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â ¿¬ÁúÀÇ Á¦Ç° °¡°øÀ»
°¡´ÉÇÏ°Ô ÇØÁÝ´Ï´Ù.

Àû¿ëÁ¦Ç° : ¾Ë·ù¹Ì´½ µð½ºÅ©, Çϵåµð½ºÅ©¿ë ¾Ë·ù¹Ì´½ ½ºÆäÀ̽º,µ¿, ¿¬°­Á¦Ç° µî..
 
 
ÀϹÝÀûÀ¸·Î ´ÙÀ̾Ƹóµå Slurry¿Í °°ÀÌ »ç¿ë Çϸç, Á¤¹ÝÀÇ ÀçÁúÀÚü°¡ ¿¬ÁúÀΠƯ¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿©
ÀÔÀÚ°¡ Á¤¹Ý¿¡ ¹ÚÇô °¡°øµÇ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ÀÏ¹Ý LappingÀÌ Á¤¹Ý°ú °¡°ø¹° »çÀÌ¿¡¼­ ¿¬¸¶Àç°¡
ÀÚÀ¯·Ó°Ô ¿òÁ÷ÀÌ´Â °Í°ú´Â »ó¹ÝµÈ ÀÛ¾÷¹æ¹ý ÀÔ´Ï´Ù.
µû¶ó¼­ Á¤¹ÝÀÇ »óÅ°¡ °¡°ø¹°¿¡ ¸Å¿ì Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡°Ô µË´Ï´Ù.

ÀÌ·¯ÇÑ ÀÛ¾÷ Ư¼ºÀ» °í·Á ÇÏ¿© Speedfam¿¡¼­´Â ÃàôµÈ ±â¼ú·Î Ư¼öÇÕ±ÝÀÇ µ¿Á¤¹Ý ¹×
ÁÖ¼® Á¤¹ÝÀ» °³¹ß ÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.

SpeedfamÀÇ Hard Polishing Á¤¹ÝÀº °¡°ø ½Ã ³ôÀº Àý»è·Â°ú Scratch¸¦ ¾ïÁ¦ ÇÏ¿©
°íÇ°ÁúÀÇ °¡°ø¹° Ç¥¸éÀ» ¾ò¾î³¿°ú µ¿½Ã¿¡ Diamond PelletÀ» ºÎÂø½ÃŲ ºí·ÏÀ¸·Î Á¤¹ÝÀÇ »óŸ¦
ÃÖ»óÀ¸·Î À¯Áö ½ÃÅ°´Âµ¥ ¸Å¿ì ¿ëÀÌ ÇÕ´Ï´Ù
 
  µ¿Á¤¹ÝÀº °æµµ°¡ °­ÇÑ °¡°ø¹° Áï Ceramic, ÇÕ±Ý, Carbon, »çÆÄÀ̾îµéÀÇ Á¤¹Ð Á¶µµ¸¦ ³»´Âµ¥
ÀûÇÕÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
º¸ÆíÀûÀ¸·Î Diamond Powder 1~3 micronÀÇ ÀÔÀÚ Å©±â¸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù
  ÁÖ¼®Á¤¹ÝÀº Alumina, Zirconia, FerriteµîÀÇ °¡°ø¹°¿¡ Àû¿ëµÇ¸ç, °íÇ°ÁúÀÇ ¸éÁ¶µµ¿Í Æòźµµ¸¦
¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.