|
|
|
|
|
|
|
|
¾ç¸é±âÀÇ Á¤¹ÝÀº ³ôÀº ¿¬¸¶·Â¿¡ ¼Ò¸ð¼ºÀÌ ³·¾Æ »ý»ê¿ø°¡ÀÇ Àý°¨ÀÌ ¿¹»óµÇ´Â
Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
»óÇÏÁ¤¹ÝÀÇ ºü¸¥ ȸÀü¿¡ ´ëÇÏ¿©¼µµ ƯÀ¯ÀÇ À¯¿¬¼º°ú Á¤¹Ý Ç¥¸éÀÇ ÀûÀº
º¯È·Î ÀÎÇÏ¿©
ÀϹÝÁ¤¹Ý¿¡ ºñÇÏ¿© ¾à 2¹èÀÇ life timeÀÌ ¿¹»óµË´Ï´Ù.
¼öÁ¤ Carrier´Â Á¤¹ÝÀÇ Æòźµµ¸¦ °ü¸®ÇÏ´Â Á¦Ç°À¸·Î ºü¸¥ ¼öÁ¤ ÀÛ¾÷ÀÌ
Ư¡ÀÔ´Ï´Ù.
Diamond Pellet ÀåÂøÇÑ ¼öÁ¤ Carrier´Â PVA StoneÀÇ
Æòźµµ¸¦ °ü¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
|
|
Glass ¾ç¸é Lapping Á¤¹ÝÀº GaAs, In-PµîÀÇ
ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼¿ëÀ¸·Î Ư¼ö Á¦ÀÛµÈ Á¤¹Ý ÀÔ´Ï´Ù.
ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼ °¡°ø ½Ã ÀÏ¹Ý °¡°ø¹°º¸´Ù
¸Å¿ì ÀÛÀº ÀÔÀÚÀÇ ¿¬¸¶À縦 »ç¿ëÇÔÀ¸·Î½á
ÀÌ¿¡ ÀûÇÕÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ Á¦Ç°ÀÇ Æ¯Â¡Àº °¡°ø¹°ÀÇ Ç¥¸é¿¡
Scratches ¹× ChippingÀ» °¨¼Ò ½Ãŵ´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
SpeedfamÀÇ ´Ü¸é±â Á¤¹ÝÀº Speed Alloy¶ó°íµµ ºÒ¸®¿ì¸ç
18°³ÀÇ Á¶°¢Çü½ÄÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç
ÀçÁúÀº Ư¼öÇÕ±ÝÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁ³½À´Ï´Ù.
Á¤¹ÝÀÇ °µµ°¡ ¸Å¿ì ³ô¾Æ ¿¬¸¶Àç°¡ Á¤¹ÝÇ¥¸é¿¡ ¹ÚÈ÷´Â °ÍÀ» ¿¹¹æÇϸç,
¿ÀÈ÷·Á ¿¬¸¶ÀçÀÇ ÀÔÀÚ°¡
Á¤¹ÝÇ¥¸é¿¡ ÀÚÀ¯·Ó°Ô ºÐÆ÷µÇµµ·Ï ÇÏ¿© ¿¬¸¶·ÂÀ» ³ô¿©ÁÖ´Â È¿°ú°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
Á¤¹ÝÀÇ ³ôÀº À¯¿¬¼º°ú ÀûÀº ¼Ò¸ð·®À¸·Î ¼ö¸íÀÌ ±æ°í, ÀÏÁ¤ÇÑ Æòźµµ¸¦
À¯Áö ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç,
Á¤¹ÝÀÇ Æòźµµ ¼öÁ¤ÀÌ ºü¸¥ °ÍÀÌ Æ¯Â¡ ÀÔ´Ï´Ù.
Retainer ring ¿ª½Ã Ư¼öÇÕ±ÝÀ¸·Î ¸¸µé¾î Á³À¸¸ç, °¡°ø¹°À»
ÁöÁöÇÏ´Â Áö±× ¹× Á¤¹Ý ¼öÁ¤¿ëÀ»
¸ñÀûÀ¸·Î »ç¿ëµË´Ï´Ù.
Groove type°ú Non Groove typeÀÇ µÎ Á¾·ù°¡ ÀÖÀ¸¸ç
¼öÁ¤¿ë ¶Ç´Â °¡°ø¿ëÀÇ ¸ñÀû¿¡ µû¶ó
Àû¿ë TypeÀÌ ¹Ù²î°Ô µË´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
SpeedfamÀÇ PVA StoneÀº Ư¼öÇÑ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¿¬¸¶À縦
BondingÇÑ ½ÅÃ༺ÀÌ
¸Å¿ì ÁÁÀº Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
µû¶ó¼ °¡°ø¹° Ç¥¸é¿¡ Scratch¸¦ ¾ïÁ¦ÇÒ »Ó ¾Æ´Ï¶ó Ç¥¸éÀÇ Á¶µµ¸¦
Çâ»ó½ÃÅ°´Âµ¥
Ź¿ùÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ PVA Stone ³»ºÎ ±¸Á¶¿¡´Â ¹Ì¼¼ÇÑ °ø±â ±¸¸ÛÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾î
°¡°ø ½Ã ¹ß»ýÇÏ´Â
¿À» ºÐ»ê½ÃÄÑ °¡°ø¹°À» ¿·ÎºÎÅÍ º¸È£ÇÏ´Â ±â´ÉÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯Â¡Àº ÀÏ¹Ý ¿¬¸¶Àç »ç¿ë½Ã Ç¥¸éÀÌ Å¸¹ö¸®´Â Çö»óÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â ¿¬ÁúÀÇ
Á¦Ç° °¡°øÀ»
°¡´ÉÇÏ°Ô ÇØÁÝ´Ï´Ù.
Àû¿ëÁ¦Ç° : ¾Ë·ù¹Ì´½ µð½ºÅ©,
Çϵåµð½ºÅ©¿ë ¾Ë·ù¹Ì´½ ½ºÆäÀ̽º,µ¿, ¿¬°Á¦Ç° µî.. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ÀϹÝÀûÀ¸·Î ´ÙÀ̾Ƹóµå Slurry¿Í °°ÀÌ »ç¿ë Çϸç, Á¤¹ÝÀÇ ÀçÁúÀÚü°¡
¿¬ÁúÀΠƯ¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿©
ÀÔÀÚ°¡ Á¤¹Ý¿¡ ¹ÚÇô °¡°øµÇ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ÀÏ¹Ý LappingÀÌ Á¤¹Ý°ú °¡°ø¹°
»çÀÌ¿¡¼ ¿¬¸¶Àç°¡
ÀÚÀ¯·Ó°Ô ¿òÁ÷ÀÌ´Â °Í°ú´Â »ó¹ÝµÈ ÀÛ¾÷¹æ¹ý ÀÔ´Ï´Ù.
µû¶ó¼ Á¤¹ÝÀÇ »óÅ°¡ °¡°ø¹°¿¡ ¸Å¿ì Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡°Ô µË´Ï´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ÀÛ¾÷ Ư¼ºÀ» °í·Á ÇÏ¿© Speedfam¿¡¼´Â ÃàôµÈ ±â¼ú·Î Ư¼öÇÕ±ÝÀÇ
µ¿Á¤¹Ý ¹×
ÁÖ¼® Á¤¹ÝÀ» °³¹ß ÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
SpeedfamÀÇ Hard Polishing Á¤¹ÝÀº °¡°ø ½Ã ³ôÀº Àý»è·Â°ú
Scratch¸¦ ¾ïÁ¦ ÇÏ¿©
°íÇ°ÁúÀÇ °¡°ø¹° Ç¥¸éÀ» ¾ò¾î³¿°ú µ¿½Ã¿¡ Diamond PelletÀ»
ºÎÂø½ÃŲ ºí·ÏÀ¸·Î Á¤¹ÝÀÇ »óŸ¦
ÃÖ»óÀ¸·Î À¯Áö ½ÃÅ°´Âµ¥ ¸Å¿ì ¿ëÀÌ ÇÕ´Ï´Ù |
|
|
|
|
µ¿Á¤¹ÝÀº °æµµ°¡ °ÇÑ °¡°ø¹° Áï Ceramic, ÇÕ±Ý, Carbon,
»çÆÄÀ̾îµéÀÇ Á¤¹Ð Á¶µµ¸¦ ³»´Âµ¥
ÀûÇÕÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
º¸ÆíÀûÀ¸·Î Diamond Powder 1~3 micronÀÇ ÀÔÀÚ Å©±â¸¦
»ç¿ëÇÕ´Ï´Ù |
|
|
|
ÁÖ¼®Á¤¹ÝÀº Alumina, Zirconia, FerriteµîÀÇ °¡°ø¹°¿¡
Àû¿ëµÇ¸ç, °íÇ°ÁúÀÇ ¸éÁ¶µµ¿Í Æòźµµ¸¦
¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|