▒▒ SPEEDFAM CO., LTD. ▒▒
   
 
   
 
 
 
 
 
 
 
 
   
 
 
 
양면기의 정반은 높은 연마력에 소모성이 낮아 생산원가의 절감이 예상되는 제품입니다.
상하정반의 빠른 회전에 대하여서도 특유의 유연성과 정반 표면의 적은 변화로 인하여
일반정반에 비하여 약 2배의 life time이 예상됩니다.
수정 Carrier는 정반의 평탄도를 관리하는 제품으로 빠른 수정 작업이 특징입니다.

Diamond Pellet 장착한 수정 Carrier는 PVA Stone의 평탄도를 관리할 수 있습니다.
 
Glass 양면 Lapping 정반은 GaAs, In-P등의
화합물 반도체용으로 특수 제작된 정반 입니다.

화합물 반도체 가공 시 일반 가공물보다
매우 작은 입자의 연마재를 사용함으로써
이에 적합한 제품입니다.

이러한 제품의 특징은 가공물의 표면에
Scratches 및 Chipping을 감소 시킵니다.
 
 
Speedfam의 단면기 정반은 Speed Alloy라고도 불리우며 18개의 조각형식으로 구성되어 있으며
재질은 특수합금으로 만들어졌습니다.

정반의 강도가 매우 높아 연마재가 정반표면에 박히는 것을 예방하며, 오히려 연마재의 입자가
정반표면에 자유롭게 분포되도록 하여 연마력을 높여주는 효과가 있습니다.

정반의 높은 유연성과 적은 소모량으로 수명이 길고, 일정한 평탄도를 유지 할 수 있으며,
정반의 평탄도 수정이 빠른 것이 특징 입니다.

Retainer ring 역시 특수합금으로 만들어 졌으며, 가공물을 지지하는 지그 및 정반 수정용을
목적으로 사용됩니다.

Groove type과 Non Groove type의 두 종류가 있으며 수정용 또는 가공용의 목적에 따라
적용 Type이 바뀌게 됩니다.
 
 

Speedfam의 PVA Stone은 특수한 기술을 이용하여 연마재를 Bonding한 신축성이
매우 좋은 제품입니다.
따라서 가공물 표면에 Scratch를 억제할 뿐 아니라 표면의 조도를 향상시키는데
탁월한 제품입니다.
또한 PVA Stone 내부 구조에는 미세한 공기 구멍을 가지고 있어 가공 시 발생하는
열을 분산시켜 가공물을 열로부터 보호하는 기능을 가지고 있습니다.

이러한 특징은 일반 연마재 사용시 표면이 타버리는 현상이 발생하는 연질의 제품 가공을
가능하게 해줍니다.

적용제품 : 알류미늄 디스크, 하드디스크용 알류미늄 스페이스,동, 연강제품 등..
 
 
일반적으로 다이아몬드 Slurry와 같이 사용 하며, 정반의 재질자체가 연질인 특성을 이용하여
입자가 정반에 박혀 가공되는 방식으로 일반 Lapping이 정반과 가공물 사이에서 연마재가
자유롭게 움직이는 것과는 상반된 작업방법 입니다.
따라서 정반의 상태가 가공물에 매우 큰 영향을 미치게 됩니다.

이러한 작업 특성을 고려 하여 Speedfam에서는 축척된 기술로 특수합금의 동정반 및
주석 정반을 개발 하게 되었습니다.

Speedfam의 Hard Polishing 정반은 가공 시 높은 절삭력과 Scratch를 억제 하여
고품질의 가공물 표면을 얻어냄과 동시에 Diamond Pellet을 부착시킨 블록으로 정반의 상태를
최상으로 유지 시키는데 매우 용이 합니다
 
  동정반은 경도가 강한 가공물 즉 Ceramic, 합금, Carbon, 사파이어들의 정밀 조도를 내는데
적합한 제품입니다.
보편적으로 Diamond Powder 1~3 micron의 입자 크기를 사용합니다
  주석정반은 Alumina, Zirconia, Ferrite등의 가공물에 적용되며, 고품질의 면조도와 평탄도를
얻을 수 있습니다.